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TONIC光栅

产品介绍

TONIC系列是紧凑型非接触式增量式光栅系统，速度可达10m/s，与Ti接口配套使用，在线性和旋转应用中分辨率达1nm。动态信号处理功能可提高信号稳定性，电子细分误差超低，通常小于±30nm。


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