开放式光栅
封闭式光栅
激光干涉测量
磁编码器
XM-60多光束激光干涉仪只需一次设定便可沿线性轴同时测量六个自由度的误差。它使用综合性分析软件来研究轴上不同类型误差之间的关系，并监控机器性能随时间发生的漂移。这能够大幅提高机加工车间的生产能力、生产效率和产出质量。
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