开放式光栅
封闭式光栅
激光干涉测量
磁编码器
非接触式、高速直线磁编码器系统,可在恶劣环境中用于直线或旋转运动。该系统包括一个紧凑型读数头和一个单独的自粘式磁栅尺或磁环。MS磁栅尺最高精度±10µm,最大分辨率13位,极距2mm。
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